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Mit einem EUV-Spektralphotometer (rechts) unterstützt das LZH die Entwicklung von miniaturisierter Elektronik.
Das LZH unterstützt die Miniaturisierung von elektrischen Schaltkreisen für Computer
Die Entwicklung von Computern ist rasant. Kaum sind die neuesten Rechner auf dem Markt, werden sie von den nachfolgenden, schnelleren, leistungsfähigeren Modellen verdrängt.
Ein wichtiger Bestandteil dieser Rechner sind die Prozessoren und Speicherelemente, die mittels Halbleiterlithographie hergestellt werden.
Die Herstellung der nächsten, besseren Generation von Halbleiterchips und Speicherbauteilen hängt von vielen Faktoren ab. Unter anderem sind geeignete Optiken für extrem kurzwellige Lasersysteme notwendig. Diese Optiken werden ebenfalls ständig weiterentwickelt und bestehen oft aus neuartigen Materialien und Komponenten. Deshalb bedürfen sie einer grundlegenden Charakterisierung bevor sie für die Halbleiterherstellung eingesetzt werden können.
Um die Charakterisierung der Optiken in einem kostengünstigen, einfach zu bedienenden System zu ermöglichen, fand ein vom Bundesministerium für Wirtschaft und Technologie (BMWi) unterstütztes Forschungsprojekt statt. Zentrale Zielstellung des Projekts war es, geeignete Verfahren zur Charakterisierung neuartiger Materialien und Komponenten in Bezug auf ihre Einsetzbarkeit für die Halbleiterherstellung zu erarbeiten und ein geeignetes Spektralphotometer zu entwickeln.
Das Laser Zentrum Hannover e.V. (LZH) war an diesem Projekt beteiligt, zusammen mit Partnern von der Strahlquellenentwicklung über die Herstellung von Strahlführungskomponenten und Detektionssystemen bis hin zur Konstruktion und Anwendung von spektralphotometrischen Messinstrumenten. Im Projekt ist es gelungen, ein praxisnahes Messverfahren zur Optikcharakterisierung im EUV-Bereich in Form eines Prototyp-Spektralphotometers zu realisieren.
Mit Hilfe dieses Messgeräts ist es nunmehr möglich - auch für kleine und mittlere Unternehmen - Optiken für die Halbleiterherstellung ohne großen Aufwand zu charakterisieren. Die nächste Computergeneration kann kommen!
Laser Zentrum Hannover e.V. / IDW.
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Das LZH entwickelt zurzeit den kleinsten TIPP-KICK-Spieler der Welt, der nur 6,8 mm groß ist. Ingenieure arbeiten daran, dem Spieler voll funktionsfähig zu machen.
Rechtzeitig vor dem fußballerischen Großereignis im Jahr 2010 in Südafrika bereiten sich das Laser Zentrum Hannover e.V. (LZH) und die Firma TIPP-KICK auf ein kaum weniger spannendes "Kleinstereignis" vor: Der kleinste funktionierende TIPP-KICK-Spieler der Welt. Der erste Entwicklungsschritt dazu konnte bereits vorgestellt werden: Dem LZH ist es gelungen, eine nur 6,8 mm große Figur herzustellen. Nur Kicken kann der Mikro-Spieler noch nicht.
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Zur Bestimmung der optischen Güte von Laseroptiken und anderen optischen Materialien hat das Laser Zentrum Hannover e.V. (LZH) ein Laserkalorimeter entwickelt, das die Absorption von Licht im Material misst.
Sowohl in der Entwicklung innovativer Produkte in der Optikindustrie, als auch bei der Fertigung von Laseroptiken ist es notwendig, die Reinheit optischer Materialien mit höchster Genauigkeit bestimmen zu können. Bei verschiedenen Quarzgläsern, Kristallen und zahlreichen weiteren optischen Gläsern sind die Anforderungen an Genauigkeit und Empfindlichkeit extrem gestiegen. Dazu zählen auch Optiken, die als Trägermaterial für hochwertige optische Beschichtungen dienen.
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Materialsgate Glossar
Laser
Laser steht für „Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation“ – übersetzt: „Lichtverstärkung durch stimulierte Emission von Strahlung“. Laser sind künstliche Strahlungsquellen, deren Strahlung durch ein sehr enges Frequenzspektrum, hohe Parallelität und eine große Kohärenzlänge charakterisiert ist.
Prototyp
In der Technik sind Prototypen Vorab-Exemplare einer späteren Serienfertigung. Prototypen dienen zur Demonstration der Machbarkeit und zur Erprobung bzw. Verbesserung anwendungsrelevanter Eigenschaften.
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