Immer kleiner, immer präziser, immer komplexer: Wissenschaftler des Zentrums für Mikrotechnologien (ZfM) der TU Chemnitz und des Institutsteils Chemnitz des Fraunhofer-Instituts für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM zeigen auf der Hannover Messe 2008, was Lasertechnologien in der Mikro- und Nanosystemtechnik ermöglichen. In der Halle 6 am Stand F16/G5 präsentieren sie vom 21. bis zum 25. April 2008 Exponate zu den Themen Mikrosysteme, Mikrostrukturierung und Lasertrimmen. Ein Forschungspartner dabei ist die Chemnitzer 3D-Micromac AG, die Lasermikrobearbeitungssysteme entwickelt.

Zu sehen sein werden unter anderem Kunststoffe, Halbleiter und Metalle, die mittels Laser bearbeitet wurden. Vor allem Kunststoffe werden in der Mikrosystemtechnik immer häufiger eingesetzt, da sie kostengünstig sind. Ihr Verhalten unterscheidet sich jedoch in der Bearbeitung grundlegend von bisherigen Materialien, wie Silizium. Die große Herausforderung besteht bei Kunststoff darin, Strukturen mittels Laserbearbeitung zu erzeugen, ohne dabei umliegende Polymerschichten zu beschädigen oder zu zerstören. Deshalb verlangen sie nach neuen Technologien - eine Möglichkeit ist der Einsatz des so genannten Laserablationsverfahrens, das eine Bearbeitung mit hoher Genauigkeit ermöglicht.

Beim Lasertrimmen werden bewegliche Mikrosysteme bearbeitet, die auch als mikrooptische Scanner zum Einsatz kommen können. Die Chemnitzer Mikrosystemtechniker zeigen in Hannover erste Muster solcher Scanner, die beispielsweise in der Medizintechnik eingesetzt werden. Sie ermöglichen durch ihre kompakte Bauform den Aufbau von kleinen, tragbaren Systemen für die medizinische Untersuchung und Bearbeitung von biologischen Oberflächen.

Im Rahmen eines Vortrages am 22. April 2008 um 10 Uhr auf dem "IVAM Forum for Innovations" in der Halle 6 stellt Prof. Dr. Thomas Geßner, Direktor des ZfM und Leiter des Chemnitzer IZM, die Aktivitäten der Chemnitzer Forscher auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik vor. Besonders betont wird die internationale Zusammenarbeit mit japanischen Unternehmen und Instituten.

Technische Universität Chemnitz / IDW.