Sie erweitern die Funktionalität der FRT Messgeräte um neue Messaufgaben, speziell in der Medizintechnik, Optik, Halbleiterindustrie oder Mikro- und Nanotechnik. Beide Sensoren arbeiten berührungslos und zerstörungsfrei nach dem Prinzip der chromatischen Abstandsmessung. Das Licht wird in Abhängigkeit von seiner Wellenlänge in verschiedenen Abständen vor dem Messkopf fokussiert. Durch die Auswertung des reflektierten Lichtspektrums oder der überlagerten Teilstrahlen lassen sich so Oberflächenhöhen, Profile oder Schichtdicken bestimmen.
High resolution für empfindliche Oberflächen
Der Sensor CWL HR (high resolution) erreicht durch seine modifizierte Optik und eine Superlumineszenzdiode eine der höchsten Lateralauflösungen (< 0,7 μm). Er wird gleichermaßen zur Messung auf spiegelnden, rauen, hochreflektierenden und lichtabsorbierenden Oberflächen sowie zur schnellen Profil- und Topographiemessung genutzt. Stufenhöhen, Abstände und Winkel in der Elektronik- oder Halbleiterfertigung können mit dem Sensor ebenso vermessen werden wie feine Strukturen in der Mikrosystemtechnik oder der Nanotechnologie. Geometriekontrolle beim Mikro-Spritzguss oder die Oberflächencharakterisierung in der Medizintechnik sind weitere typische Einsatzgebiete für den CWL HR.
Schnelle Schichtdickenmessung mit Infrarot
Bei Materialien, die für sichtbares Licht opak, für Infrarot aber transparent sind, macht FRT mit dem CWL IR Schichtdicken-Messungen möglich. Besonders die Halbleiterindustrie profitiert von diesem Prinzip. Der Sensor zeichnet sich durch einen großen Messbereich sowie eine x-y-Auflösung von 6,5 μm aus. Mit MicroProf- und MicroGlider-Systemen kann der CWL IR für Schichtdicken-Mappings eingesetzt werden. Konzipiert ist der Sensor gleichermaßen für den Einsatz im Messlabor wie in der Produktionskontrolle.
Über FRT
Fries Research & Technology GmbH (FRT) bietet Oberflächenmesstechnik von der Forschung bis zur Produktionskontrolle. Geräte von FRT messen berührungslos und zerstörungsfrei Topographie, Profil, Schichtdicke, Rauheit, Verschleiß und viele andere Parameter für Unternehmen aus Branchen wie z. B. Automotive, Halbleiter, Mikrosystemtechnik, Optik oder Medizintechnik. FRT unterhält Tochtergesellschaften in den USA und der Schweiz, ein Vertriebs- und Servicenetz in Asien und Europa sowie eine Niederlassung in München. Für weitere Informationen besuchen Sie uns im Internet:
http://www.frt-gmbh.com
FRT Fries Research & Technology GmbH.
Druckansicht
